壓力變送器一般用于測量液體、氣體或蒸汽的液位、密度和壓力，然后將壓力信號轉(zhuǎn)變成4～20mA DC信號輸出，可以分成電容式壓力變送器和擴散硅壓力變送器，陶瓷壓力變送器，應(yīng)變式壓力變送器幾種，是工業(yè)設(shè)備中用以控制工業(yè)過程和壓力變化的重要原件。壓力變送器被廣泛應(yīng)用與石油、化工、電力、鋼鐵、輕工等行業(yè)的壓力測量及現(xiàn)場控制中。
壓力變送器發(fā)展經(jīng)過了發(fā)明，技術(shù)發(fā)展， 商業(yè)化集成加工，微機械加工階段4個階段，下文就為您介紹這四個階段的一些小知識。
1、發(fā)明階段(1945 - 1960 年)：這個階段主要是以1947年雙極性晶體管的發(fā)明為標志。此后,半導(dǎo)體材料的這一特性得到較廣泛應(yīng)用。
2、技術(shù)發(fā)展階段(1960 - 1970 年)：隨著硅擴散技術(shù)的發(fā)展,技術(shù)人員在硅的(001) 或(110) 晶面選擇合適的晶向直接把應(yīng)變電阻擴散在晶面上,然后在背面加工成凹形,形成較薄的硅彈性膜片，稱為硅杯。這種形式的硅杯變送器具有體積小、重量輕、靈敏度高、穩(wěn)定性好、成本低、便于集成化的優(yōu)點,實現(xiàn)了金屬- 硅共晶體,為商業(yè)化發(fā)展提供了可能。
3、商業(yè)化集成加工階段(1970 - 1980 年)：在硅杯擴散理論的基礎(chǔ)上應(yīng)用了硅的各向異性的腐蝕技術(shù)，擴散硅變送器其加工工藝以硅的各項異性腐蝕技術(shù)為主，發(fā)展成為可以自動控制硅膜厚度的硅各向異性加工技術(shù)，主要有V 形槽法、濃硼自動中止法、陽極氧化法自動中止法和微機控制自動中止法。由于可以在多個表面同時進行腐蝕,數(shù)千個硅壓力膜可以同時生產(chǎn),實現(xiàn)了集成化的工廠加工模式,成本進一步降低。
4、微機械加工階段(1980 年- 今)：上世紀末出現(xiàn)的納米技術(shù),使得微機械加工工藝成為可能。通過微機械加工工藝可以由計算機控制加工出結(jié)構(gòu)型的壓力變送器,其線度可以控制在微米級范圍內(nèi)。利用這一技術(shù)可以加工、蝕刻微米級的溝、條、膜，使得壓力變送器進入了微米階段。
以上就是壓力變送器發(fā)展的四個階段，現(xiàn)如今，壓力變送器已經(jīng)成為工業(yè)設(shè)備中十分重要的一種元件，并將在未來繼續(xù)發(fā)展。上海自動化儀表一廠專業(yè)生產(chǎn)各類壓力變送器，有需要的客戶歡迎前來選擇訂購！
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